磁力传动技术是通过磁性材料所产生同性相斥、异性相吸的磁力作用,来实现力或转矩无接触传递的一种新技术。由于磁力传动可以在传动的同时通过隔离套起到隔离密封的作用,可以考虑将它应用在IC制造业的真空机器人上,以保证IC制造业高洁净度和高真空度的要求。本文介绍了课题的选题背景及来源,在分析了国内、外真空机器人和磁力传动技术的研究和发展现状的基础上,阐明了课题的选题意义。主要研究内容围绕以下几个方面展开:首先,对研究的磁力传动器进行总体方案的设计。根据应用于真空机器人的性能要求,进行磁力传动器的结构选型;根据高真空环境的技术要求,采用磁感应式磁力生成方式,设计一种传递旋转运动的圆筒型磁感应式磁力传动器。然后根据确定的总体方案,对磁感应式磁力传动器进行参数化设计。在确定内、外磁极所选用磁性材料的基础上,对该磁力传动器进行磁路物理建模与数学建模,根据结构尺寸要求和已有各参数间的影响关系,确定磁路的关键参数。根据确定的关键参数,利用集总参数法、工程估算法以及ANSYS有限元分析三种不同方法对设计的转矩进行估算。在完成磁路设计后,利用Pro/E软件对本磁力传动器进行三维实体建模与虚拟装配;验证无误后进行机械本体设计、零件选材;对关键部件的参数进行计算、校核,设计、加工出本磁力传动器机械本体;并根据加工出的本体结构特点搭建实验测试平台。实验测试平台的控制方案采用步进电机+MPC07运动卡制卡+PC机结合的方式,实现在不同转速下的运动控制,对磁感应式磁力传动器进行静、动态转矩测试。根据测试数据验证了理论计算方法的合理性后,得到了本磁力传动器在不同转速下的动态转矩传递特性及功率特性,确定其最佳工作状态。最后,对本磁感应式磁力传动器设计、加工制造以及实验测试过程中产生的问题和不足之处进行了讨论和分析;结合后续的研究方向,为下一步研究工作的进行提出了展望。