本文以Zr₆₅Al_7.5Cu_12.5Ni₁₀Ag₅非晶合金为研究对象,利用高分辨透射电子显微镜（HRTEM）观察了室温压痕塑性变形后非晶合金微观结构的变化,利用有限元模拟了Zr65Al7.5Ni10Cu12.5Ag5非晶合金在Vickers压痕过程中压头尖端下方及棱下部分区域的压应力及等效应变的大小。计算出了应力与形核激活能、形核速率、晶核长大激活能的关系,讨论了压应力与晶核长大速率的关系。探讨了非晶合金在塑性变形过程中微观结构变化的动力。主要包括如下结论:压痕过程中压头尖端下方析出了直径约为60nm的球形晶体,在压头棱下区域析出了尺寸大于1μm的晶体。Zr₆₅Al_7.5Cu_12.5Ni₁₀Ag₅非晶合金在压痕塑性变形过程中的晶化行为与压应力密切相关,说明压应力是引起非晶合金晶化的动因。有限元模拟显示,在Vickers压头尖端下方压应力最大,棱下区域应力较小,且离尖端越远压应力越小。Zr₆₅Al_7.5Cu_12.5Ni₁₀Ag₅非晶试样在压头尖端可以获得高达73 %的等效应变量且不发生断裂。棱下区域从靠近尖端的区域到远离尖端区域的等效应变从45%逐渐降低到35%,压痕过程发生的是明显的非均匀塑性变形。压痕的不同塑性变形区域的形核激活能不同,尖端下方区域形核激活能最小,棱下各点形核激活能约为尖端区域的2倍左右,离尖端区域越远形核激活能越大。在尖端下方区域形核速率最大,而棱下区域形核速率明显小于尖端区域,远离尖端的区域形核速率趋近于零,非晶基体很难发生形核。尖端区域晶核长大需要的激活能最大,离尖端越远的区域需要的晶核长大激活能越小。较大的压应力有利于晶核的形成但不利于晶核的长大,即较大的压应力有利于纳米晶的析出。