MgB2超导薄膜的制备

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【摘要】

：

MgB_2是一种简单的二元半金属化合物,超导转变温度可达到39K,接近甚至突破了传统BCS理论关于简单金属间化合物超导转变温度的极限,使其在超导电子学器件方面拥有巨大的潜在应用价值。本论文中,我们采用磁控溅射法(MS)结合快速热处理方式(RTP)制备了MgB_2超导薄膜。论文主要工作总结如下:一、采用磁控溅射法在单晶Al2O3衬底上成功制备了一系列MgB_2超导薄膜。实验表明,MgB_2薄膜的超导

【作者】

：

马军礼

【机构】

：

贵州大学

【发表日期】

：

2016年05期

【关键词】

：

MgB2 磁控溅射快速热处理溅射参数

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