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纳米技术是在近乎原子尺度上研究物质的特性及物质间相互作用的前沿技术。随着科学技术的飞速发展,纳米技术涉及到机械、材料、生物、化学等越来越广泛的领域,对于纳米测量的需求越来越多,对于纳米测量的精度要求也越来越高。高精度的动态位移测量系统是机械、仪表、工具、兵器、宇航等产业获得位置精度的基础,也是上述产业产品及技术不断进步的制约因素。而这些方面光学干涉计量以其能够精确到波长量级的优势成为位移测量系统的主要代表。本文提出了一种基于LabVIEW的利用光纤干涉法测量动态位移的测量系统及方法,本系