近年来,微波等离子体技术越来越受到人们的关注,微波等离子体具有电离度高、电子密度高、工作气压范围宽以及无电极污染等优点,在化学气相沉积,等离子体表面处理技术,刻蚀技术,离子源等方面获得了广泛的应用。而应用效果的好坏直接与等离子体的电子、离子密度,能量分布等参数特性相关,其次微波等离子体设备的改进及最佳工作条件的确定也要通过等离子体测量结果来实现。因此,准确可靠地测量等离子体参数不仅对等离子体基础研究,而且对等离子体应用工艺技术的改进也十分重要。由于微波等离子体的特殊性,目前国内外对微波等离子体参数测试技术的研究远远落后于其应用方面的研究。针对该问题,本文在分析了微波等离子体特性及各种等离子体诊断方法的基础上设计了一种新型的朗缪尔静电探针,针对传统的等离子体测试系统及测试手法,引入自动化测量技术,计算机及集成单片机技术设计了一个新的等离子体测试系统,经实验测试效果较好。本论文的主要内容为:1.设计了一种新型的朗缪尔静电探针,很好地解决了真空密封,微波泄漏等问题,分析了静电探针使用中的几个问题并提出了解决方法。2.设计了以集成单片机ADuC845为中心的扫描电压及信号检测电路,并编写了相关单片机程序。3.运用delphi7.0编写了上位机软件。4.应用设计的测试系统,在微波等离子体CVD系统上进行实验,得到并分析实验结果,提出系统改进思想。