【摘 要】
：
基于充放电的电容测量(Charge-based Capacitance Measurement,CBCM)是目前对片上寄生电容进行测量的最精确而有效的方法。基于CBCM方法本文提出了两种改进型的测量方法。一
论文部分内容阅读
基于充放电的电容测量(Charge-based Capacitance Measurement,CBCM)是目前对片上寄生电容进行测量的最精确而有效的方法。基于CBCM方法本文提出了两种改进型的测量方法。一种是自微分(Self-Differential,SD)CBCM方法,用于单个微分电容,如MOSFET栅电容的精确测量。这种方法有两个优点,一是采用了一种新提出的自微分的测试步骤来消除测量过程中的系统误差,二是可以工作于超高频率(500MHz以上),从而大大减小了随机误差。因此相比于之前的CBCM方法,该方法能提高数十倍的测量精度。另一种是多通道(Multi-Channel,MC)CBCM,用于MOSFET各部分寄生电容的精确提取分离。成功分离提取MOSFET栅源电容、栅漏电容、栅对衬底电容、源对衬底电容、漏对衬底电容等寄生电容,并且可以测量MOSFET各种工作区域的寄生电容,从截止区到放大区到饱和区。测量精度达到亚飞法(小于10-15F)级别,这也是首次有研究工作能以这样的精度做这么广泛的片上电容测量工作。两种CBCM方法都以阵列的形式在GSMC0.18μm工艺上实现,通过对多个不同待测器件的批量测量,我们的测量方法的可靠性可以得到验证。
其他文献
《论语》作为“语”类文献代表,不同于其他“语”类文献,史官传统和君子立言传统并非其生成的主要因素。《论语》的记言应是孔门弟子学习的过程性材料,从“语”的生成到述者
能看到多远的过去，就能看到多远的未来。$$打开我党我军从苦难到辉煌的历史卷轴，我们不难发现，在波澜壮阔的漫漫征程中，双拥工作作为革命优良传统和特有的政治优势，始终紧跟我党我
根据《2012年中国社会形势分析与预测》中的调查数据表明，到2012年中国的城市人口将第一次超过农村人口，这将是我国城市化进程中的一个里程碑事件，这个变化说明了农村流动人口大
《午夜之子》创造了一个超现实主义的背景,在这个背景下,各种魔幻元素还原了印度历史编撰中所渗透的政治意识并且参与到对殖民主义和民族主义者意识形态的讽刺当中。在《午夜
以新兴技术领域的复杂性、不确定性和依赖多方行动者参与为前提,新兴产业技术标准化过程中形成了多个开展技术标准化工作的标准制定组织,从而形成了以实际行动推进新兴产业技
病证结合动物模型建立了中医基础与临床实践之间的紧密联系,为中医药的药效学研究提供了理论基础,已成为中医实验动物模型发展的新方向。复制具有中医证候特征的病证结合动物
当地时间23日，马克·埃斯珀正式出任美国国防部长。在美国防长一职空缺7个月后，这位资历横跨军政商三界的前陆军部长或将给五角大楼带来新变动。$$军事经历可以服众$$埃斯珀现
本文主要通过对当前形势下的应急管理局中的档案保密工作所面临的问题和挑战进行分析和探讨,经实践证明,管理档案必然会涉及到档案的保密,随着当前对于档案的不断开放,所以档
2015年《立法法》的修改，对地方立法权进行了扩容。地方立法权的扩容虽没有《宪法》的直接规定，但并不违宪。然而，立法权限、立法素质和立法监督方面的问题使得扩容存在风险。通
在分子光谱学领域,基于转动光谱学的同位素取代技术导出的分子结构的精准性是目前其它各种技术难以企及的。通过拟合和分析由分子转动光谱仪捕获的分子超精细转动能级跃迁,转