【摘 要】
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在该论文中,按照缺陷产生、栅氧退化和击穿的研究思路,我们主要聚焦研究了超薄栅氧化层可靠性中四方面的问题:超薄栅氧化层中缺陷信息的表征技术及其超薄栅氧中的应用;栅氧化
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在该论文中,按照缺陷产生、栅氧退化和击穿的研究思路,我们主要聚焦研究了超薄栅氧化层可靠性中四方面的问题:超薄栅氧化层中缺陷信息的表征技术及其超薄栅氧中的应用;栅氧化层击穿机制及击穿模型;超薄栅氧化层软击穿前后的噪声特性及其根源分析;以及超薄栅氧化层质量评估的新方法研究.通过对超薄氧化层进行大量的实验和理论分析,完成了以下几个方面的新工作:给出了直接隧穿弛豫谱技术详细的理论描述,同时将其应用于超薄栅(<4纳米)氧化层中给出了缺陷信息与厚度的关系.在超薄栅氧化层中,我们发现了存在明显的双峰现象,表明了两种类型缺陷的存在,同时超薄样品DT应力下产生的氧化层和界面陷阱密度和俘获截面小于薄氧化层FN应力下产生的氧化层和界面陷阱密度和俘截面小于薄氧化层FN应力下的缺陷密度和俘获截面,氧化层陷阱的矩心将更靠近阳极界面.
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