紫外光电探测器工作于紫外波段,在天然的低噪声背景下,可对目标紫外光辐射信号进行识别,现今已广泛地应用于导弹制导、臭氧监测、紫外成像及空间通信等军事和民生领域。AlGaN作为第三代宽禁带半导体的重要成员之一,凭借大范围连续可调宽禁带、高电子迁移率及优异的导热性能等优势,被视为紫外光电探测器的优选材料。然而,相较于已成熟应用的紫外光电倍增管,AlGaN基紫外光电探测器的性能水平有待提高,其实际应用仍有较大的提升空间。为此,我们研究了金属Rh纳米结构的局域表面等离激元（Localized surface plasmon,LSP）特性,并运用金属Rh纳米颗粒实现AlGaN基金属—半导体—金属型紫外光电探测器性能的提高。本论文的研究工作主要包括以下两方面:1、金属Rh纳米颗粒的局域表面等离激元特性研究。运用FDTD Solutions仿真方法构建金属Rh纳米颗粒结构模型,系统地研究了颗粒尺寸、介质环境及几何形状等关键因素对金属Rh纳米颗粒LSP特性的影响。模拟计算的结果表明,当增大圆柱体状金属Rh纳米颗粒的高度后,LSP共振波长发生蓝移,并且共振强度随之增大,而增加其横向尺寸后,LSP共振波长发生红移,共振强度同样增大;当增大圆柱体状金属Rh纳米颗粒所处环境的介电常数时,共振波长向长波方向移动,但共振强度随之减弱;而改变金属Rh纳米颗粒的几何形状时,LSP共振波长因形状的改变而变化。在理论层面对金属Rh纳米结构LSP特性的深入研究,为实际探索及应用奠定了一定基础。2、基于金属Rh纳米颗粒LSP增强的AlGaN基MSM紫外光电探测器研究和制备。我们摸索了金属Rh纳米结构的制备工艺与条件,通过自组装球模板法制成有序规则分布的金属Rh纳米颗粒阵列,并将其引入到AlGaN基MSM光电探测器中,有效地提升了紫外光电探测器性能。我们认为,一方面是由于金属Rh纳米颗粒的LSP远场特性（光散射增强效果）,增加了吸收层的有效吸收光程,使得光生电子—空穴对的数量大幅增加;另一方面,金属Rh纳米颗粒的LSP近场特性（局域场增强效果）,使得电子—空穴对分离速度增快,因此探测器的探测性能得以提升。