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氢化纳米硅(nc-Si:H)薄膜因其中纳米级硅晶粒的量子尺寸效应,具有高电导、发光等优良的光电特性,在微电子、光电子等领域具有广阔的应用前景.光纤陀螺仪(FOG)具有全固态结构且无转动部件、启动快等系列优点,它作为新型的惯性导航与姿态控制器件具有非常重要的研究和工程开发意义,其研究包括材料与器件性能的提高;系统结构的小型化(多轴复用技术和光学器件的集成化技术)等.