制备工艺对氮化锌薄膜结构和光波导特性的影响

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【摘要】

：

在科学技术迅猛发展的今天,半导体薄膜材料凭借其优良的特性和尺寸上的特殊优势,已然成为当今材料技术研究的热点。目前研究比较广泛的是锌类和氮族化合物。Zn_3N_2薄膜材料因同属于锌类和氮族的Ⅱ-Ⅴ化合物,引起了科学研究者的广泛关注。Zn_3N_2薄膜具有高载流子迁移速率、高电导率且禁带宽度因制备方法的不同而变化等优点,同时Zn_3N_2薄膜的制备方便、操作简单。本研究采用射频反应磁控溅射技术,将纯度

【作者】

：

朱笑菲

【机构】

：

山东建筑大学

【发表日期】

：

2017年06期

【关键词】

：

氮化锌薄膜结构有效折射率反应磁控溅射光波导特性

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