【摘 要】
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同步辐射具有高亮度，能量连续可调的特性，是人们进行材料物质研究的理想光源。软X射线的光子能量覆盖常见轻元素K边和过渡族金属的L边，同步辐射软X射线实验方法的发展对材料科学具有重要的意义。 本文根据北京同步辐射装置489B实验站对软X射线吸收谱实验方法拓展的需要，进行了荧光产额吸收谱设备的设计搭建工作。以微通道板(MCP)为光电探测和倍增元件，选择光子计数法为读出方式，设计制作了一种实用的超高真空
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同步辐射具有高亮度，能量连续可调的特性，是人们进行材料物质研究的理想光源。软X射线的光子能量覆盖常见轻元素K边和过渡族金属的L边，同步辐射软X射线实验方法的发展对材料科学具有重要的意义。
本文根据北京同步辐射装置489B实验站对软X射线吸收谱实验方法拓展的需要，进行了荧光产额吸收谱设备的设计搭建工作。以微通道板(MCP)为光电探测和倍增元件，选择光子计数法为读出方式，设计制作了一种实用的超高真空荧光强度探测器，结合北京同步辐射装置489B光电子能谱实验站特点，采用在样品架加载正偏压的方法，选择适当的样品电位，减少了杂散电子对荧光探测信号的影响，有效地提高了荧光探测器的信噪比。利用该探测设备成功获取了表面覆盖ZnS薄膜材料的SrTiO3晶体Ti L边特征吸收谱，与全电子产额(TEY)模式吸收谱相比，使用研制的探测设备获得的结果具有对绝缘样品和深层次体相探测的优势。该探测设备已在北京同步辐装置489B光电子能谱实验站使用，拓展了实验站软X射线吸收谱的功能，在表面催化，电极材料，薄膜衬底的研究中，为实验用户增加了一个新的表征手段。另外，搭建的软X射线全荧光产额吸收谱探测设备可使用独立真空系统，可方便地与实验站分析腔体对接，也可将探测器安装于其他束线和实验腔体，使该设备具备了良好的移植性和便捷性。
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