球面调制靶是一种具有特殊构型的激光聚变靶,它对于研究惯性约束聚变(ICF)实验中的瑞利-泰勒流体不稳定性具有重要意义。球面调制靶的制备技术是ICF研究的重要组成部分之一,其关键难点集中在对空心玻璃微球(HGM)外表面生成预定的扰动条纹的微细加工。鉴于HGM的外形、材质等物理特点,通过对多种形式的微细加工技术进行分析,本文选择准分子激光微刻蚀加工技术制备球面调制靶。本文首先简单介绍了准分子激光和微细加工相关领域的技术和设备,详细地分析了MAESTRO型准分子激光工作站的结构;介绍了液滴法制备HGM的方法及其物理品质的测定方法;选取了合理的激光微刻蚀加工环境和汲取HGM的方案;针对HGM外形微小且力学性能差、极易破碎等物理特性,结合微刻蚀加工的具体需要,分别给出了用于HGM准分子激光直写和掩膜加工工艺的两种特殊装夹方案。其次,对MAESTROG型工作站的准分子激光束参数和光路传输系统(BDS)的光学性能着重进行了分析和探讨,研究出一种采用248nm波长的KrF准分子激光加工球面调制靶的方法,进行了若干次加工实验。最后,通过对实验加工数据和球面调制靶实物的分析,说明采用准分子激光微刻蚀加工球面调制靶的方法可行,效果良好,可以达到预定的工艺要求。