【摘 要】
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过去的几十年,随着集成电路技术的成熟发展,产生了一种新型的微机电系统(MEMS)。其中,硅微型惯性测量单元是MEMS技术的一个重要应用领域,而硅微型机械陀螺仪是构成这种测量单
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过去的几十年,随着集成电路技术的成熟发展,产生了一种新型的微机电系统(MEMS)。其中,硅微型惯性测量单元是MEMS技术的一个重要应用领域,而硅微型机械陀螺仪是构成这种测量单元的核心器件,它具有体积小、重量轻、成本低、动态特性好、可靠性高等独特优点,有着广阔的应用前景。
本文介绍了我们自行设计的一种硅微型单自由度振动轮式陀螺仪的外围电路设计方案,主要研究内容包括以下几个方面：
1.分析了硅微型单自由度振动轮式陀螺仪的动力学特性,分别得出了陀螺仪的驱动规律和敏感规律,研究了电容式微机械陀螺仪信号器的输出特性。
2.结合电容式微机械陀螺仪输出信号的特性,分析了各种检测方案的优缺点,最后指出相干检测特别适合用于硅微陀螺仪的信号检测。
3.分别阐述了硅微陀螺仪开环和闭环工作模式的电路设计方案,结合实验结果比较了两种模式在性能上的差别。
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