超声振动辅助激光辐照FTO基透明导电薄膜的研究

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【摘要】

：

掺氟二氧化锡(FTO)透明导电薄膜具有无毒、易于激光刻蚀、抗酸碱且可实现大面积生产等优点,应用前景广泛。随着光电器件产业的快速发展,高性能且低成本薄膜材料的需求也在逐渐提高,因此许多研究者提出运用激光辐照的方法来提高薄膜性能以满足实际应用需求。现有关于激光辐照的研究主要集中于激光器种类的选择和激光参数的优化,而针对采用超声振动辅助激光处理FTO改善薄膜性能的研究鲜有报道。基于此,本文提出在激光辐照

【作者】

：

曹海迪

【机构】

：

江苏大学

【发表日期】

：

2017年01期

【关键词】

：

FTO薄膜 Ag/FTO薄膜超声振动激光退火激光织构化光电性能

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