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金属网格结构具有波长依赖的共振透射特性，因此常被作为滤波的器件。但是金属网格结构在高频区存在的旁瓣影响了滤波的效果。本论文针对旁瓣个问题设计并制备了一种新型的折叠十字结构。本论文主要包含以下两个方面的内容: (1)旁瓣产生的机理探讨以及折叠十字结构的设计。利用有限元仿真法对金属网格结构短波区的旁瓣的产生的机理进行仿真探讨，仿真结果表明旁瓣主要包含三个部分1）网格结构的衍射2）相邻结构之间的高阶共振峰3）薄膜的上下表面的F-P共振峰。针对这三个方面相应的优化方案(1)衍射旁瓣:我们通过设计这种折叠十字结构，由于折叠臂的加入，可以使得相应的周期设计的更小，从而使衍射区更加远离主透射峰;(2)高阶共振峰:通过仿真发现当设计的折叠十字结构满足L+2W＜=G（其中L主臂长，W折叠臂长，G单个图形周期）条件时，产生的高阶共振峰强度很弱同时位置出现在衍射区的旁瓣中被淹没;(3) F-P共振峰:优化薄膜结构的厚度，当厚度小于一定的数值时，F-P共振峰位于衍射区，淹没在衍射旁瓣中。 (2)基于上述设计结构，研究了无基底金属薄膜的工艺流程，采用SU-82010光刻胶和磁控溅射镀膜、紫外曝光、金属镍电镀等工艺，成功制备出该结构。对于中心频率为0.75THz和1.25THz两种（十字孔和折叠十字孔）对比结构，测试结果表明:0.75THz两种结构的主峰透过率均在88.4％左右，带宽在0.2THz，对于高频区的旁瓣折叠十字结构可以实现0.230THz更加远离;1.25THz两种结构的主峰透过率均在89.2％，带宽在0.37THz，高频区的旁瓣折叠十字可以实现0.537THz更加远离。折叠十字孔中心频率为1.0THz、1.5THz、2.0THz和2.5THz的四种结构分别实现了透过率为86.17％、84.08％、83.30％和90.86％和旁瓣与主透射峰的距离为分别为1.006THz、1.123THz、0.779THz和0.431THz的滤波特性。该结构具有较好的旁瓣抑制效果。