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该论文在了解了微沟道流体动力学和对流换热理论的基础上,利用ANSYS5.7软件建立了微型流体测控系统的有限元模型,并进行了模拟分析.目前我们在系统模拟方面已经取得了一些有价值的成果.该论文中所设计的以封闭式微沟道和散热片为主要散热方式的冷却系统,在工作时能够带走的最大热量为170焦耳,发热芯片的最大热通量为13.55W／cm<2>.论文的模拟分析结果为今后的微型冷却测控系统结构设计提供了重要的参考依据,并为哈工大MEMS中心的ANSYS有限元模拟工作积累了宝贵经验.