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空间光学镜面采用SiC、微晶玻璃等难加工硬脆材料,其加工效率并不高,随着镜面尺寸的增大,镜面的加工效率成为制约光学系统发展的关键问题之一。作为光学镜面加工工序中重要的一环,光学镜面研磨普遍采用时不变去除函数的加工方式,存在效率不高并且边缘效应明显的问题,对后续工艺的效率产生了极大的影响。此外,随着镜面尺寸的增加,机床刚度对跨度的限制使得传统的研抛机床并不完全适应大口径光学镜面的加工需求。因此,大口径光学镜面的高效研磨方法是光学镜面加工工艺的关键问题之一。传统研磨中的常压加工方式限制了加工效率的进一步