功率IGBT（Insulated Gate Bipolar Transistor,绝缘栅双极性晶体管）作为工业控制领域的核心半导体元器件,是国际上电子电力技术第三次革命中最具有代表性的产品。功率IGBT模块广泛应用在轨道交通、智能电网、航空航天等领域,其关键参数直接反映IGBT模块实际性能表现与应用场景。因此对功率IGBT模块参数精准测量具有较大的意义。针对功率IGBT模块参数测量需求,本文研制了功率IGBT模块参数测量系统采用模块化设计分为单次阶跃电流源、单次阶跃电压源、双极性单次阶跃电压源、测量软件、测量夹具等,解决了以往设备的拆卸困难,维护不方便的问题;单次阶跃电流源采用了运放堆叠构成的电路结构,解决了以往的高压大电流采用电容冲放电实现功能时需二次电容放电补偿带来的输出不稳定、建立时间长、精度低的问题;测量软件采用了软触发方式解决了测量系统对采集数据不完整的问题,并实现了设备的通信互联、数据互传、功能控制、自动测试等功能;测量夹具采用了风冷结构解决了在测量中器件产生的温度变化对测试结果不准确问题。依托于现有国际上有效的测量方法、校准规范,对其测量结果进行不确定度评定来说明功率IGBT模块参数测量系统的可靠性与准确性。本文研制的功率IGBT模块参数测量系统具备对功率IGBT模块的自动测量且系统模块化设计维护方便等优点。通过采用300us单次阶跃测量方法,测量了功率IGBT模块饱和电压、门限电压、漏电流、击穿电压、集电极电流等参数。功率IGBT模块参数测量系统为测量功率IGBT模块相关参数提供了质量保证,其实用性较高、推广度较好。