由于纳米结构引起的物理效应,纳米金属薄膜作为一种电磁功能薄膜,展现出许多特异性能.这些特性是由其基本电磁参数决定的,如电导率(σ)、介电函数(ε<,1>,ε<,2>)、磁导率(μ<,1>,μ<,2>)等.该文通过研究纳米金属薄膜的基本电磁参数,证明纳米金属薄膜电磁特性的可控性、可调性,希望对设计和研制优异性能的纳米电磁功能材料具有指导意义.采用磁控溅射系统制备厚度为0-100nm的Al、Ti、Fe、Cu薄膜.利用STM观察了金属薄膜生长过程中结构的变化;通过原位测量纳米金属薄膜的直流电导率,获得纳米金属薄膜电导特性与薄膜厚度的关系;通过测量纳米金属薄膜在紫外、可见、红外、微波频段对电磁波的透射率、反射率,并由此计算纳米金属薄膜的光学函数、介电函数,得到相应参数的尺寸效应;研究了纳米Fe膜在微波频段导磁率的尺寸效应、沉积速率对纳米金属薄膜光学性能、光学函数、介电函数的影响;同时研究了两层膜与单层膜光学特性的理论、实验关系;从理论角度研究电磁波与纳米金属薄膜的相互作用机理,通过测量载流子浓度,计算等离于体频率,并与实验中测量的吸收峰位进行对照.