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本文研究了用MEVVA离子源给阴极弧沉积技术制备的DLC中注入Ti和Ni离子，继而通过XPS、Raman光谱、XRD、SEM、轮廓仪和纳米硬度仪研究了膜的结构和力学性能的改变。文章分为三个部分：第一章综述了DLC膜的现状，介绍了膜的制备方法、表征手段和膜的应用，较为详细地介绍了掺杂对降低DLC膜的内应力和增强膜的热稳定性方面的重要作用；第二章介绍了样品的制备和表征设备、样品制备的具体条件和参数。成功的制备了1个纯的DLC膜样品、4个注TiDLC膜样品和2个注NiDLC膜样品；第三章分析了膜的微观结构、成分和力学性能的变化。最终发现，在注Ti样品中有TiC生成，而注Ni样品中有Ni的纳米颗粒析出；掺杂后膜的内应力大大降低，同时膜的硬度和弹性模量也有所下降。