现有晶硅太阳能电池片通常采用线锯切割以及后续多道制绒工艺,成本高,损耗大,因此,迫切需要探索新的加工方法,以降低制造成本和提高光电转换效率。本文采用电火花电解复合切割方法,在理论研究和试验验证的基础上,研究了太阳能硅片的电火花电解复合切割机理,分析了切割表面形貌与反射特性。主要研究内容如下:1.采用有限元方法分析了电参数对蚀除凹坑的影响,分析表明,提高放电能量(如脉宽和占空比)有利于获得更大深径比的凹坑。2.采用水基复合工作液,对不同电阻率晶硅材料进行了电火花电解复合切割试验,试验证明,提高脉冲宽度或增大占空比可以增加切割效率。对切割表面形貌进行分析,复合切割表面由放电凹坑组成,还有大量的电解微坑。切割面呈现深褐色,有明显的分形特性,与抛光和线锯切割硅片表面相比,分形维数小,粗糙度Ra高,在3-6μm之间。3.对不同微结构的减反射特性进行了理论分析,计算分析表明,微结构深径比与反射率成反比,凹坑微结构表面具有良好的减反射效果。4.对采用不同电参数得到的硅片表面进行反射率测试分析,结果表明,在可见光的范围内,大脉宽小脉间参数切割的硅片表面反射率在7.5～9%左右,接近现有太阳能硅片;在短波和长波范围内,反射率小于10%。5.对比分析电火花电解复合切割和线锯切割硅片的加工效率、材料损耗、切割厚度以及反射率等技术指标,表明电火花电解复合切割制绒一体化具有可行性,有必要对该技术继续进行深入的研究。