SnO2异质结发光器件的制备及其光电性能研究

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二氧化锡(SnO2)是典型的N型半导体材料,具有宽的直接带隙(3.6eV),和较大的激子束缚能(120meV)。此外,SnO2材料在可见光区域具有高透过率,并且具有良好的导电性、耐腐蚀性和高稳定性的优点,已广泛应用于透明导电玻璃、太阳能电池、气敏传感器等领域。然而,在SnO2晶体的量子态中存在偶极禁戒跃迁现象,无法产生带隙直接跃迁,这极大地降低了SnO2自由激子带边跃迁和辐射复合的几率,因此SnO2材料在光电器件中的应用受到限制。目前,通过制备SnO2纳米结构或利用高温退火处理,来改变材料的晶体结构,可打破偶极禁戒跃迁并实现SnO2材料在发光器件中的应用。本文采用脉冲激光沉积技术(PLD)制备了SnO2薄膜,并进行了高温退火处理,研究了SnO2材料的晶体结构以和光电性能;在此基础上,设计并制备了基于SnO2薄膜的异质结发光二极管(LED),研究了器件的电致发光特性,并利用能带理论分析了器件的发光机理。本文主要工作包括以下内容:1.采用水热合成方法和脉冲激光沉积(PLD)方法制备了不同结构的SnO2材料。通过扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)及X射线衍射研究了SnO2材料的形貌及结晶结构。此外,实验中还通过高温退火技术对SnO2材料进行了退火处理,SnO2薄膜经700℃退火处理后由非晶结构变成含纳米晶的复合结构,并观察到SnO2薄膜的光致发光(PL)现象。2.利用脉冲激光沉积技术在p-GaN衬底上制备了n-SnO2薄膜,构建n-SnO2/p-GaN异质结LED。在正向偏压下,该器件表现出较强的黄橙光发射带(600-700nm)以及一个较弱的紫光发射峰(中心波长为400nm)。与光致发光谱相比,黄橙光发射带是由于SnO2薄膜缺陷能级中载流子的重组而引起。而紫光发射峰则与GaN的深能级相关。3.为改善SnO2异质结LED的发光性能,分别以AlN和ZnS薄膜作为界面层构造了PIN型发光二极管。实验结果表明,由于中间层AlN的插入,不仅可以提高SnO2薄膜的晶体质量,还可有效抑制电子向GaN一侧注入,消除了GaN相关的光发射,实现了以黄橙光发射为主的电致发光。对于n-SnO2/i-ZnS/p-GaN异质结发光二极管,发现在正向偏压下实现了以620nm为中心的黄橙光发射,在反向偏压下,实现了以450nm为中心的蓝光发射。利用Anderson能带模型分别分析了两种PIN型二极管的发光机制。
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