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透明导电氧化物薄膜是薄膜太阳电池中的一个重要结构,因具有良好的光电性能而被广泛地应用在薄膜太阳电池的前电极和背电极。高质量的透明导电氧化物薄膜是进一步提高太阳电池效率的关键所在。AZO(掺铝氧化锌)是近些年来研究较多的新型透明导电材料,具有成本低廉、资源丰富、无污染的优势,并且具有优良的光电特性,因此广泛应用在薄膜太阳电池中,被认为是最具发展潜力的材料之一。本文采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了AZO透明导电膜,研究了氩气压强、氩气流量、衬底与靶材之间的距离对AZO透明导电膜光电性