金刚石具有优异的物理、化学、机械性能以及可获得十分锋利的刃口钝圆半径等优良特性[1]，因此，金刚石在科技和工业中发挥了重要的作用，特别是在超精密加工领域，被认为是最理想的超精密切削刀具材料。但由于金刚石本身具有高硬度和高脆性等独特性能，使得金刚石在常规的机械研磨中获得有形状要求的高精度及粗糙度值极低的金刚石表面相当困难，因此开展金刚石的精密研磨技术研究，具有良好的应用前景和实用价值。 本文从金刚石研磨机理出发，针对解理和凹坑在金刚石弹性浮动研磨中依然是影响金刚石表面质量的两个主要因素，探讨了金刚石表面出现解理和凹坑现象的本质原因：解理和凹坑的产生都是因为金刚石表面在研磨过程中受到了外界的不稳定冲击。从弹性浮动研磨后的金刚石表面可以看出，不断变化的冲击主要来自研磨盘的端跳和弹性梁的振动。研磨过程中研磨盘的端跳会使得金刚石表面和研磨盘之间发生微小撞击，同时弹性梁会受到来自研磨盘沿梁的轴线方向的冲击，梁在受到恒定的冲击载荷作用下产生自激振动。这些振动和冲击干扰会使得被研磨的金刚石刀具和研磨盘之间产生多余的相对运动而使金刚石刀具无法达到所需的加工精度和表面质量[1]。 为了消除振动和冲击对金刚石研磨表面质量的影响，做了如下方面的工作： 1.采用了单因素的实验方法，研究了研磨盘转速，研磨压力对金刚石表面质量的影响，并建立加工力学模型。 2.用不同类型的梁进行了隔振实验，弹性变截面梁隔振和减振效果最理想。并对弹性梁的隔振效果进行了分析。 3.对研磨盘的端跳产生原因进行了分析并进行了装置改进，增加弹性垫并调平研磨盘端面，金刚石研磨质量得到很大的提高。 4.对主轴的回转误差进行了分类，分别对主轴的纯轴向窜动，纯径向跳动，纯角度摆动建立了数学模型以便进一步定量分析。