涡轮分子泵是一种动量传输式真空泵，它靠高速旋转的涡轮转子和定子相间配置来工作，其定子和转子叶齿倾角方向相反，涡轮分子泵的转速，每级叶片的形状设计，加工方法，动静叶片的排列方式对抽速、压缩比等性能参数影响很大。 本课题基于现有涡轮分子泵的研究情况，通过实验比较国内外涡轮分子泵的抽气性能，分析结构差异和设计、制造理念的不同，进而提出了提高我国涡轮分子泵水平的研究方向可以向整体转子方向转变的设想。对两款样泵：国产TMP1500和莱宝公司生产的TMP340M进行抽气性能的理论验证，通过与实测抽速的结果对比可以进一步验证此理论验证方法的正确性。 此外，涡轮分子泵的转子转速每分钟高达几万转。泵长期在高速下运行，其工作可靠性和稳定性是不容忽视的问题。因此本课题结合实际一款涡轮分子泵对其转子系统用Ansys软件进行模态分析求出前15阶振型及固有频率(临界转速)，此柔性轴的设计转速超出不发生共振的转速范围要求，该涡轮分子泵运行时有可能发生共振，提出了该涡轮分子泵的结构改造方案，以避免共振的发生。