本论文介绍了电子束缩小投影曝光机标记信号检测及对准技术的相关系统设计、流程设计、算法设计等，给出了实验数据和结果，实现了3σ为45nm的检测精度。 在电子束缩小投影曝光系统对准技术的原理实验中，介绍了电子束缩小投影曝光机对准系统的构成及原理，阐述了数字处理技术在对准系统中的应用，以及对准数据的产生及数字处理的软件设计，并给出实际测试结果。原理实验验证了使用数字信号处理技术处理背散射电子(BSE)信号的可行性。 实验中设计出用于电子束缩小投影曝光机的标记对准模拟软件，采用多边形面积变化来表示背散射信号幅值的变化，利用有向环计算多边形面积，并模拟出标记对准的背散射信号，同时分析了不同标记图形所产生的BSE信号的特点，设计出适用于缩小投影系统的掩模图形及相应的标记图形。 在缩小投影电子束曝光机上完成了对准标记重复检测精度的研究，检测系统中使用了四象限的背散射电子检测器，提高了信号的信噪比，检测精度达到3σ=45nm，制作了用于拼接的掩模图形及相应的标记图形，为拼接实验作了一定的准备。