半导体材料测试仪器的设计与制作

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半导体是指其导电能力介于导体和绝缘体之间的物质,通过测量电阻率和电动势率,可以确定出温差电材料的功率因子、计算材料的掺杂浓度,为了对半导体材料的性能做出快速而精准的判断,检测电阻率、电动势率是非常必要的。本文设计了基于AT89C52单片机的半导体材料在不同温度条件下电阻率电动势率测量系统。采用电加热炉作为温控设备,调节半导体所处的测量环境温度。温控部分采用单片机控制固态继电器的通断来实现升温过程,控制算法采用大林算法。采用大林算法能有效地改善电加热炉的纯滞后时间对控制的不良影响,控制效果好。电阻率的测量采用四探针法来消除接触电阻与导线电阻对测量结果的影响,电动势率的测量则采用对半导体一端加热使得半导体两端迅速产生温差方法来测量温差电动势随温度变化的趋势。系统将测得的电压及温度信号通过信号采集模块、滤波器、隔离放大器及AD转换器传递给单片机后通过串口传送到上位机进行数据处理并作图分析。电阻率测量通过多次测量取得平均值,来减少偶然误差与系统误差;电动势率测量则通过升温与降温过程中测得的温差电动势与温度的关系,由上位机对温差电动势和温差作图,并采用最小二乘法对测量曲线拟合。本文的研究重点在于消除测量微小信号时各种干扰的影响,提高温度控制的精度与线性度,保证整个测量过程的精度。
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