随着微电子技术迅猛发展，它在人们的生产生活中扮演着越来越重要的角色，使得半导体制造行业倍受关注。本文详细地介绍了为中微半导体设备公司(AMEC)开发的嵌入式光谱采集协处理终端的软、硬件设计。该终端应用于12英寸晶圆等离子刻蚀原型机当中。 本文首先分析了嵌入式系统、DSP、ARM和FPGA领域的发展，并根据设计性能要求以及本实验室的设计水平，提出了采用TI C54x系列DSP、ARM7和FPGA为主体的硬件系统架构，设计了一种基于DSP+FPGA+ARM的嵌入式实时光谱采集协处理终端。 该终端将高速的DSP与在通讯和实时控制方面具有独特优势的ARM处理器，以及接口逻辑丰富、并行处理能力强大的FPGA结合起来，为嵌入式实时数据采集开辟了新的途径。 文中详细介绍了本数据采集终端的硬件及低层软件的实现。在硬件设计上结合实际讲述了DSP(TMS320VC5402)、ARM(44BOX)和FPGA(EPlCl2)的电路设计原理和步骤以及印刷电路板(PCB)设计要点。软件设计介绍了使用VHDL语言进行FPGA逻辑开发以及DSP和ARM相关程序设计。 同时文中还对如何使用44BOX对FPGA和DSP进行配置以及实现44BOX与DSP的通信进行了说明。 最后，总结了本课题研究所取得的成果及其不足之处，提出了课题进一步深入研究的展望。