扫描探针显微镜（简称SPM）是利用探针的扫描来获得样品表面信息，它的发明，标志着传统显微镜分辨率衍射极限己被突破，使人类可以在小于亚微米的尺度上观察和研究物体的外观形貌和内在性质。现在，扫描探针显微镜已经成为探测微观世界强有力的工具，广泛应用于材料科学、生物学、信息科学等领域。探针是其核心部件，因显微镜种类不同而异。我们尝试以普通光纤为材料，制作出多功能探针。本论文的研究工作主要有以下几个方面： 1．制作光纤探针的研究 用熔拉法、腐蚀法、管腐蚀法、熔拉—腐蚀法、激光消融法制备了光纤探针，对其外形进行了分析、比较，显示出：熔拉法制作的探针，锥形过渡区细长，并且获得的探针的锥角不大（8°～35°）。腐蚀法与管腐蚀法制作探针，可以使探针的锥形过渡区短，损耗小，锥角大（15°～65°），但在制备更大的锥角光纤探针时，表面开始变得粗糙起来。拉伸—腐蚀的方法制作光纤探针存在一个变锥度区。激光消融腐蚀法容易获得大锥角的探针，并且表面光滑，通过激光消融的方法，就可以得到直径、圆锥角均十分理想、表面光滑的针尖，所获探针直径变化范围为80～200nm，锥度40°～81°，透过率3.5×10^-3。 2．光纤探针光学性质的研究 用实验方法测量了光纤探针的传输效率随光纤圆锥角的变化关系，作出传输效率曲线，通过测定探针传输效率的实验，我们看到：只要光纤探针的锥角在30°～55°的情况下，探针就是具有高透过率、高分辨率纳米微探针。同时测量了传输效率与光波波长的关系。 3．具有表面增强拉曼光谱光纤探针的研究 以普通的石英光纤为材料，用管腐蚀的方法制备出光纤探针，在管上镀上一层银膜，构成管状的具有表面增强性的光纤探针。我们把拉曼光谱仪与实验室自制的光纤探针结合起来，建立了微区拉曼光谱系统，并基于此装置测量了几个有代表性的样品，得到了低浓度样品的拉曼光谱。