滤波器是射频微机电系统(Radio Frequency Microclectronics mechanicalsystem，简称RF MEMS)中最基本的元件之一，由于具有较低的插入损耗和回波损耗等优点，因此有着良好的商业价值，被广泛应用于射频通信领域。我所在的研究小组，长期以来对RF MEMS元件进行了大量深入的研究，研发了MEMS电感、电容、开关等元件，在此基础之上，本论文采用切比雪夫三阶低通电路模型，设计了LC集成RF MEMS滤波器，其中心频率在600-900MHz范围可调，采用MetalMumps的工艺进行加工，并对器件进行了性能测试，插入损耗大小在4dB左右，回波损耗略大于20db。　　 本论文首先采用ADS2005仿真软件，对切比雪夫三阶电路进行仿真得到了相应的电容和电感的参数值，并在其环境下模拟出其插入损耗和回波损耗；随后采用COVENTOR软件进行了器件的版图设计，包含CPW传输线、电容和电感等。为了研究电感的性能，在HFSS软件对不同大小的电感进行了高频仿真。　　 滤波器的加工采用了MetalMumps标准工艺，这是MEMSCAP公司研发的标准工艺，包括淀积氧化层、淀积氮化硅层、淀积多晶硅层，形成金属层和最后的电镀工艺，释放得到所需结构。该工艺流程较为简单，适合RF MEMS器件的制作，得到的器件具有较好的可靠性。　　 最后，采用ES8702网络分析仪对器件进行了测试分析，包括插入损耗和回波损耗等等。测试结果表明制作的中心频率在900MHz的带通滤波器可调范围为35％，插入损耗在4dB，回波损耗略大于20dB。　　 本论文研发的可调滤波器结构简单，加工工艺可以同传统的IC工艺集成，具有比较好的应用价值，可以运用到无线通信、自动化以及汽车行业中去。