伴随着我国经济发展的不断深化，高技术产业已经成为在助推我国经济在高质量、可持续发展道路上的主导性产业。为深入了解我国各省市和地区高技术产业全要素生产率的影响，本文在对我国高技术产业的发展现状进行了详细分析的基础上，针对高技术产业在发展现状中反映出来的问题，运用多元线性回归方法进行定量分析，最后根据实证结果对我国和各地区高技术产业的发展以及提升全要素生产率的路径提出相关对策建议。首先，运用描述性统计分析对我国各省市及地区高技术产业的发展现状进行分析，在现状分析的基础之上，发现该产业当前在发展中出现的问题；其次，运用了DEA-Malmquist这一数据包络分析方法，测算了我国31个省市、地区2005-2016年高技术产业全要素生产率，并且对全要素生产率进行分解；最后，运用多元线性回归分析，实证研究了我国高技术产业全要素生产率的影响因素以及四大地区高技术产业全要素生产率的影响因素。主要得出以下研究结论：
　　（1）从样本年间的实证来看，全要素生产率与技术进步效率的趋势大体一致，因技术进步效率未取得长足的改善，因此全要素生产率整体上也未得到很大的提高，目前能够促进我国各省市、地区高技术产业全要素生产率提高的主要因素还是来自于技术进步；技术效率的改善主要来自于纯技术效率的提高。
　　（2）通过对我国31个省市高技术产业全要素生产率的影响因素分析得知，市场规模与高技术产业全要素生产率关系并不显著；而企业规模与产业全要素生产率增长率负相关。R&D内部经费投入、市场化程度以及GDP增长率都在1%的水平下显著，说明高技术产业的全要素生产率的提升可以通过改善这些因素得以提升；政府财政投入也在5%的水平下显著，对全要素生产率的提高也起到积极的推动作用。
　　（3）通过实证分析得知，政府财政投入、市场化程度以及GDP增长率与高技术产业全要素生产率不相关，东部地区无法通过这些因素的改善来提升高技术产业的全要素生产率；而提升其水平大多依靠高技术产业企业自身，R&D内部经费投入在1%水平上正向显著，说明企业可以通过内部研发经费的投入，提高新产品的创新水平和能力，进而推动整体全要素生产率的提高；市场规模在5%水平上正向显著，对于东部地区的高技术产业来说，市场规模的扩大与高技术产业全要素生产率有显著的正向关联。中部地区的高技术产业的企业规模、政府财政支出与全要素生产率之间无显著性联系；R&D内部经费投入、市场规模和GDP增长率对全要素生产率的提升有积极的正向作用；市场化程度则抑制了全要素生产率的发展。西部地区的R&D内部经费投入、GDP增长率这2个影响因素与全要素生产率并不显著，无实际的正向推动作用；企业规模和政府财政投入这2个影响因素都在1%的水平下显著相关，说明这两个影响因素是推动西部地区高技术产业全要素生产率提高的主导性因素；除此之外，市场化程度也在5%的水平下显著，与全要素生产率正向相关；而GDP增长率在5%的显著性水平下与其负相关。东北地区的高技术产业的发展比其他地区晚些，实证分析的结果并不理想，企业规模、政府财政投入、市场规模3个影响因素都在10%的水平下显著，说明东北地区高技术产业全要素生产率的提升这3个因素都有促进作用，但这些因素的促进作用并不十分显著；R&D内部经费的投入增加一定程度上抑制了全要素生产率的提升；而市场化程度、GDP增长率在东北地区与全要素生产率也并不显著相关。在提高各地区高技术产业全要素生产率时应因地制宜的采取相关措施。