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微加工图案化技术在现代科学技术的发展中占有重要的地位。本工作围绕金属/聚合物复合膜体系，研究其在热诱导下发生的表面形貌变化，并实现该体系的可控图案化设计。主要具体内容如下：
一、研究了热诱导金属/聚合物膜系表面形貌变化现象。结果表明，当聚合物膜处于玻璃化温度以上时，由于其物理性能表现出急剧的变化，溅射金属膜和聚合物膜的热膨胀系数不匹配，导致应力不均匀释放，产生无序的表面形貌变化。金属/聚合物复合膜结构对应力的大小及释放有一定影响。
二、初步建立了金属/聚合物膜系热诱导表面形貌变化的理论基础。在同一金属/聚合物膜系表面采用图案化设计的方法，使用激光刻蚀划分不同大小的区域，可以精确控制薄膜表面形貌变化。
另外，通过激光微加工的方法对金属薄膜内应力进行可控定向释放，薄膜从基底部分剥离并卷曲成管。该方法可用于大量制备金属微米管，并在一定程度上控制其长度、管径。