【摘 要】
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本文采用溶胶-凝胶提拉法,在普通玻璃载玻片上制备了A1掺杂、Sn掺杂、Al-Sn共掺杂和F-Sn共掺杂ZnO薄膜。采用了X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HR-TEM)、X射线电子能谱(XPS)、紫外-可见光谱仪(Uv-vis)、拉曼光谱(Raman)和光致发光光谱(PL)、霍尔测试仪和四探针测试仪分别对样品的结构和表面形貌、光学性能和电学性能进行了研
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本文采用溶胶-凝胶提拉法,在普通玻璃载玻片上制备了A1掺杂、Sn掺杂、Al-Sn共掺杂和F-Sn共掺杂ZnO薄膜。采用了X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、高分辨透射电镜(HR-TEM)、X射线电子能谱(XPS)、紫外-可见光谱仪(Uv-vis)、拉曼光谱(Raman)和光致发光光谱(PL)、霍尔测试仪和四探针测试仪分别对样品的结构和表面形貌、光学性能和电学性能进行了研究。Al、Sn单一掺杂ZnO透明导电膜研究结果表明,适宜的掺杂浓度有助于提高晶体结晶度,促进晶体
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