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真空紫外反射膜在宇宙物理、生命科学和同步辐射等高科技领域应用广泛。近年来,随着经济的高速发展、科技能力的迅速提升,国内外对真空紫外光学元件的需求越来越多。然而真空紫外波段高反膜的获得仍面临许多困难,主要原因是所有材料在这一波段都呈强吸收特性,单层膜和常规周期多层膜的反射率都难以达到较高水平。因此,寻找合适的设计方法以提高这一波段的反射率显得尤为重要。本文在总结近几年反射膜研究进展及一些思路独特的增反膜设计方法基础上,把日本学者Masaki Yamamoto为软X射线高反膜设计而提出的“逐层”法应用于