随着煤、石油、天然气等不可再生资源的日渐枯竭,人类必须寻求一种安全的、无污染的新能源。太阳作为一个大火球,寿命可达100亿年,其每秒钟照射到地球上的能量就相当于500万吨煤。因此,大力开发太阳能成为人们解决资源匮乏的最佳选择。单晶硅太阳电池生产工艺是光伏产业中发展最为成熟的工艺,为了降低生产本,本文采用金属催化水溶液法来制备纳米绒面代替传统太阳电池的减反层(ARC)实现大规模生产。传统单晶硅太阳电池的绒面是利用单晶硅的各向异性采用强碱溶液制备的连续金字塔结构,这种结构降低了单晶硅表面的反射率。为了获得更低的减反效果,本文采用在传统金字塔结构上刻蚀纳米线阵列的方法获得超低反射率0.84%的绒面。并将带有这种金字塔／纳米线双结构的单晶硅片在太阳电池生产流水线上作业,通过扩散、去边、丝网印刷和烧结制成太阳电池,测试其光电转换效率。虽然最终的转换效率13.8%并未达到理想值,但是通过分析原因和以往实验经验发现在工艺上加以改进还会使效率增加,因此采用金字塔／纳米线双结构阵列实现超低反射率的大面积单晶硅硅绒面制备仍然有着深远的意义和研究价值。