随着太赫兹科学与技术的快速发展,一系列太赫兹功能器件的研究得到了广泛关注。利用太赫兹超材料的异常透射效应和石墨烯的高电子迁移率、高载流子浓度和可调谐特性,为设计太赫兹调制器提供了新思路,具有一定的应用潜力。在太赫兹波段,周期性亚波长阵列结构,当满足波矢匹配时,可以在金属表面激发起表面等离子体,由此产生异常透射现象,在透射谱上表现为高透射率的谐振峰。其中,由传播性表面等离子激元所激发的透射峰具有优越的频率可调特性。通过麦克斯韦方程可以推导出传播性表面等离子激元的色散公式。根据该公式,当改变金属外部介质的等效介电常数,可以改变谐振峰的谐振频率,从而实现太赫兹波的幅度调制。本文主要研究了通过不同光控、电控方式调节该谐振峰,实现对太赫兹波幅度调制。首先,将外部介质层对该金属周期性阵列结构的影响,进行理论和仿真结果分析。并以硅半导体作为介质覆盖层,利用其激光照射下的光电导效应来调制器件,并且加工实际样品,进行实验测试,验证了理论分析结果。随后,实验测量了砷化镓半导体材料的基本参数,结果表明其光电导特性相比硅更加明显。并且设计方案,将砷化镓作为介质覆盖层,通过实验测试其调制效果,结果显示采用砷化镓后调制效果明显得到提高。另外,利用石墨烯高迁移率、高载流子浓度和电压可控的优点,将周期性亚波长环孔阵列构成的超材料结构结合电控可调石墨烯,提出了一个基于石墨烯超材料的太赫兹调制器。在理论上和数值计算上,研究了其异常透射峰的不同特性。经过仿真优化设计了一个基于石墨烯的低插入损耗、低回波损耗、低门控电压和高调制深度的太赫兹调制器。