带温度补偿的微小型压力传感器及标定系统设计与实现

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作为整个飞行器的核心组成部分,飞行器动力装置的工作状态需要被时刻关注,其所受到的压力是一个非常重要的参数,通常要求使用符合某种标准的模拟或数字信号,因此所使用压力传感器的输出应当遵循一定的规范。为使压力传感器对飞行器的影响尽可能小,应该在保证精度的前提下尽可能缩小其体积和重量。本文设计并实现了一带温度补偿的微小型压力传感器以及针对该传感器的标定系统。首先,本文介绍了压力传感器以及针对其输出信号的处理方法的国内外研究现状,并对硅压阻式压力传感器及其温度漂移的产生原理和补偿方法进行描述。根据任务需求,确定了压力传感器由敏感头和变换器两部分构成,并选取了合适的器件,对变换器的核心器件MAX1452的结构和原理进行了大致介绍。本文分模块介绍了压力传感器及其标定系统的硬件电路部分,包括传感器敏感头、变换器、MCU、模拟多路复用器、AD转换模块、串行接口、供电电路等部分,其中还对MCU和AD转换模块中相关器件的配置方式进行了详细介绍。本文还分别就补偿过程设计和上位机软件对标定系统的软件部分进行了介绍。标定系统可依次采集64个压力传感器输出的电压,对其信号进行放大,并在不同温度下对其进行若干次单温度点标定,上位机利用这些单温度点标定的数据计算所有温度点的数据,最后再写入传感器变换器上的MAX1452中,这样就完成了对传感器的标定。最后,对标定系统以及标定前后的压力传感器进行测试,标定系统可以正常工作,经过标定的压力传感器性能有较大提升,其输出信号的大小和精度全部符合任务要求。
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