【摘 要】
：
在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制.国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技术,国外的检测设备一般也仅检测个别量.本文在研究国内外薄膜特性检测技术的基础上,提出了融合多光束偏转测量法与反射光干涉测量法以在线检测半导体薄膜多个特性的检测方案,设计了相应的检测装置,并论证了该检测装置在线检测多点薄膜应力、薄膜生长率以及厚度和折射率等量的可行性.在具体工程中,对检测装置的一些主要组成部分进行了分析和设计:薄膜应力现场阵列
论文部分内容阅读
在半导体薄膜生长过程中,需要对半导体薄膜的特性(如薄膜应力、生长率、厚度、折射率等)进行实时检测,以实现对其生长过程进行精密控制.国内的薄膜特性检测技术大多为离线检测技术,国外的检测设备一般也仅检测个别量.本文在研究国内外薄膜特性检测技术的基础上,提出了融合多光束偏转测量法与反射光干涉测量法以在线检测半导体薄膜多个特性的检测方案,设计了相应的检测装置,并论证了该检测装置在线检测多点薄膜应力、薄膜生长率以及厚度和折射率等量的可行性.在具体工程中,对检测装置的一些主要组成部分进行了分析和设计:薄膜应力现场阵列传感器;功率高度稳定可调LD;低噪声、高精度光强数据采集传输模块;薄膜特性计算软件平台.最后给出部分实验及其结论以及对课题需要进一步研究和完善的内容进行展望.
其他文献
１．雨期施工的要求和准备工作 1.1雨期施工的要求 根据雨期施工的特点，编制施工组织设计；合理进行施工安排；密切注意气象预报，做好防汛准备工作。 1.2雨期施工的准备 做好现场排水工作；做好原材料、成品、半成品的防雨工作；制定现场房屋、设备的排水防雨措施；备足排水需用的水泵及有关器材，准备适量的塑料布、油毡等防雨材料。 2.雨期施工措施 雨期施工主要解决雨水的排除，对于大中型工程的
【摘 要】当前的钢结构建筑已在建筑工程中发挥着日益重要的作用。钢结构建筑建设工期短收益快，钢结构在我国有着非常广阔的发展前景。但钢材作为建筑材料在防火方面又存在一些难以避免的缺陷，火灾时其强度会迅速下降，要使钢结构材料在实际应用中克服防火方面的不足，必须进行防火保护处理。文章探讨了钢结构建筑的防火涂料的特点及其具体的应用技术。 【关键词】钢结构;防火;涂料;建筑施工 0.引言 到目前为止
【摘 要】建筑物钢筋混凝土结构的普遍应用，伴随着商品混凝土的推广，建筑楼面出现裂缝的机率在增加，日益受到社会人士关注；专家认为控制裂缝是个系统工程。楼面结构出现裂缝原因复杂，有材料、温度变化等原因，也有设计、施工、使用等方面问题，而楼面沿板内预埋管线出现的裂缝尚未引起工程人员足够重视，寻找其成因，利于有目的进行裂缝控制。 【关键词】混凝土；裂缝；成因；控制 混凝土工程中材料的特性决定了结构较易
【摘 要】由于我国气候条件的差异，尤其在北方冬季长达数个月的寒冷气候，给施工带来了很多困难，所以，在这种环境的下施工，一定要采取一些特殊的施工防护措施，以保证工程的正常施工。为此针对冬季施工的一些措施进行了简要的探讨。 【关键词】房屋建筑；冬季施工；措施 施工周期的长短对一建筑项目效益的影响是非常重要的，在工程建设施工过程中，受自然气候的影响，加之工程建设的进度需要，有时不可避免的要进
【摘 要】本文结合某建筑工程的实际，对建筑电气施工管理进行分析，将自己的一点心得集于笔端，供大家作参考之用。 【关键词】建筑电气；施工管理 电气工程是工程项目的重要组成部分。随着建筑智能化的迅速发展，电气工程的地位和作用越来越重要，直接关系到整个工程的质量、工期、投资和预期效果，工程质量直接影响到建筑物整体设备的安全运行、节能效果及建筑物投入使用后的使用功能。从而要求电气施工管理人员要有全
【摘 要】本文结合现行有关施工规范及体系的具体特点，讨论了主要预制件的生产和体系的施工工艺，重点阐述了现浇双向密肋夹芯板的施工方法，为该类体系的施工提供参考。 【关键词】密肋夹芯板；构造；施工 1.轻质钢筋混凝土结构 1.1轻钢结构体系 轻钢结构体系由轻钢结构做骨架，各种轻质墙作外围护结构，经装修和装饰而成的房屋。骨架是轻钢建筑的支承体，与钢筋混凝土框架结构一样，既承受所有竖向荷载，又
【摘 要】大体积混凝土工程施工时,经常出现裂缝,这些裂缝不能根除,在施工时只能进行防治,本文就从大体积混凝土裂缝产生原因和施工进行探讨。 【关键词】大体积;混凝土;裂缝;措施 施工大体积混凝土工程施工过程中,经常经常出现裂缝,影响结构的安全,如何最大限度的消除裂缝,保证工程结构安全,是工程管理人员急需掌握的,本文就从大体积混凝土裂缝产生原因和施工进行探讨。 １．大体积混凝土的裂缝
【摘 要】在建筑工程施工中混凝土裂缝的产生是一项质量通病，因此对混凝土裂缝的事先预防，以及产生后的修补处理是建筑生产过程中较为普遍的现象，应有足够的重视。 【关键词】混凝土裂缝；预防措施；处理修补 在建筑工程施工中，混凝土裂缝的产生是一个普遍存在的问题，而裂缝的解决也是一个较为棘手的问题。混凝土裂缝产生的原因是多方面的，有变形引起的：如收缩、膨胀、沉降等原因引起的裂缝；有外部荷载引起的：混凝土
【摘 要】随着我国经济的高速发展、城市建设步伐的快速前进,这带来了建筑市场的繁荣,促进社会经济的增长的同时,也给建筑施工管理工作带提出了新的问题。本文针对建筑施工中存在的问题进行探讨,并提出相应的管理措施。 【关键词】建筑；施工；环境；安全；质量 1.本建筑施工中存在的问题分析 1.1建筑施工引起的环境污染问题 建筑工程中的环境污染主要有噪音污染、泥浆污染、灰尘固体悬浮物污染、基坑开挖
【摘 要】高层建筑外墙渗漏的原因很复杂，如墙体自身的裂缝、外墙面抹灰层的裂缝、填充墙砌体砖的裂缝、外墙施工中留下的各种孔洞处理不当、外墙铝合金安装处理不当等。文章主要探讨了高层楼房外墙防渗防漏的施工方法。 【关键词】外墙施工;防渗施工;房屋防漏 0.引言 建筑外墙一旦渗漏，不仅会影响建筑的使用功能和影响建筑物室内装修质量，且维修非常困难，既耗资也耗时。文章以下主要探讨了高层建筑外墙渗