伴随着电子工业和信息产业的兴起,尤其在微型机电系统(MEMS)以及集成电路(ICs)的迅速发展,薄膜材料逐渐显示出其重要性并得到了广泛应用。如今,薄膜材料的应用已经扩展到科技和国民经济的多个领域,如航空航天、食品医药、能源、通信和信息等。在可预测的未来,薄膜材料将向着综合、智能、环境友好以及纳米化的方向发展,为现代科技的进一步发展起到积极地促进作用。与此同时,纳米多孔材料作为近些年新兴的研究领域,也在能源、催化、微电子设备等方面显示出良好的潜在价值。基于此,本研究首先采用不同溅射方法制备了银基金属薄膜,研究了其结构、形貌以及耐蚀性。而后将溅射镀膜和脱合金工艺相结合获得具有一定实用价值的纳米多孔银薄膜。此外,还制备了能用于超级电容器电极支撑材料的纳米多孔钛条带。具体的研究内容如下：1.通过X射线衍射(XRD),扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM)等手段,对比观察研究了离子束溅射与磁控共溅射所制备的AgCuCe薄膜的微观形貌,发现相同成分下离子束溅射获得的薄膜表面更加平整致密。在不同溶液中测试了该金属薄膜的耐腐蚀性,薄膜的腐蚀电位则通过测量其极化曲线获得。2.以磁控共溅射制备的AgMgCe薄膜作为前驱体,采用脱合金方法制备出孔隙率可调节的纳米多孔银薄膜,该薄膜是一类具有特殊结构和功能的纳米材料,在保留良好导电能力的同时具有较大的比表面积,更多的活性位点,使其在催化、能量存储及生物传感器等领域具有潜在应用价值。过氧化氢是工业生产中的一种重要的小分子物质,但是超标使用将会对人体的健康产生不良影响。因此,如何准确、快速地检测过氧化氢浓度具有重要意义。我们将纳米多孔银薄膜作为传感器,研究了其对过氧化氢浓度的探测能力,实验发现薄膜产生的信号强度和过氧化氢浓度之间具有良好的线性对应关系。3.通过真空甩带法制备出Cu-Ti薄带,而后采用电化学腐蚀的方法得到纳米洞孔钛,接着利用电化学的方法将锰的氧化物沉积到纳米多孔条带上,形成Mn02/纳米多孔钛复合材料。该材料以纳米多孔钛为结构支撑,由过渡金属锰的氧化物提供高的比电容。通过扫描电镜对比观察了附着MnO2前后条带的微观形貌,经测量计算,该复合材料最高比电容可达493F·g-1,说明多孔钛骨架超级电容器具有较高的潜在应用价值。