【摘 要】
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针对国内红外焦平面探测器在真空下封装的需求,本文探索制造与封装更好结合并更符合红外焦平面探测器使用效率的微透镜。本文中介绍并制造完成了100%的填充因子拥有平滑的表
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针对国内红外焦平面探测器在真空下封装的需求,本文探索制造与封装更好结合并更符合红外焦平面探测器使用效率的微透镜。本文中介绍并制造完成了100%的填充因子拥有平滑的表面轮廓结构新颖的微透镜微镜阵列(MMA),并对其进行了实验研究。文中介绍了三种方式,设计制造并验证其更适合红外光的微透镜阵列,更适合与红外焦平面集成的微透镜阵列。以半混合的方式制造,并与红外焦平面集成,有效的减少浪费的红外光；用热熔融法制作出底面为正方形的SU8-2005光刻胶微透镜阵列,微透镜之间的间距为5μm。然后用混合气体SF。和02进行干法刻蚀转移使光刻胶微透镜阵列转移到硅衬底上,从而得到所需要的无缝隙的100%填充因子的硅微透镜阵列。实验中SF6和O2的流量分别为200sccm和50sccm,此时光刻胶和硅的刻蚀比为1：1.44。实验结果表明,该微透镜阵列具有光滑的外表面,粗糙度为10nm左右,微透镜阵列的焦距集中在15.4μ m到16.6μ m之间；利用氢氧化钾各向异性刻蚀,沉积,热回流和热挤压制造接近100%填充因子具有良好的光学性能的微透镜阵列。
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