【摘 要】
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该文结合超精密球面轮廓测量系统的研制,重点对干涉条纹图象的识别及其工作台的微控制系统进行了研究.该文首先确定了条纹法检测的光路系统,然后对条纹图象的识别进行了分析.
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该文结合超精密球面轮廓测量系统的研制,重点对干涉条纹图象的识别及其工作台的微控制系统进行了研究.该文首先确定了条纹法检测的光路系统,然后对条纹图象的识别进行了分析.这比较,该文针对干涉条纹的特点,选取了适当的图像滤波、峰值确定及细分方法,并且进行了波面的拟合.此外,该文在工作台微控制方面,采用闭环控制系统,完成了角度传感器计数、细分电路及工作台驱动电路的设计与研制.计算机对角度信号进行实时采集并分析,然后通过驱动电路完成对工作台的控制,其中采用了数字PID闭环控制.在该文的最后,对条纹图象处理的结果进行了对比分析;对控制的PID参数整定进行了试验论证.结果表明,该文所进行的理论分析和所提出的测量方法是正确的,达到了设计要求.
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