位移测量在机械工程中有着广泛的应用,这不仅因为在机械工程中经常要求精确地测量零部件的位移或位置,而且力、压力、扭矩、速度、加速度、温度、流量、物位等参数的许多测量方法,也是以位移测量作为基础的。在各种位移传感器中,电阻应变式传感器精度高,稳定性好,应用面广,并且在制造工艺上比较成熟,是目前应用最广泛的一种传感器。 本论文主要研究应变式传感器测量位移的特性;分析影响精度和分辨力的主要因素:研究提高分辨力、精度及体积微型化的方法。归纳起来,论文主要的内容和成果如下: 一、设计传感器弹性元件即悬臂梁的结构形式,选择应变片,研究贴片方位对传感器精度的影响。 二、设计实验装置,确定实验方案,进行悬臂梁和应变片的特性标定实验。 三、对传感器后续测量电路进行设计和研究,减少电源波动和元器件干扰的影响,保证其稳定性和可靠性。 四、在实验的基础上,合理设计五自由度位移传感器的内部结构,使其微型化。