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无油螺杆泵具有抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等特点,已被广泛应用于半导体、医药、食品、化工等众多工业领域。螺杆转子是螺杆真空泵中最关键的抽气部件,直接决定着泵的工作性能和使用寿命,其加工制造成本约占整个螺杆泵总成本近一半。螺杆转子的型线设计则是整个螺杆泵设计中的最关键技术。其中单头变螺距的螺杆转子,因其具有内部预压缩的排气方式,与等螺距螺杆转子相比,具有突出的节能降噪优点,因此近年来备受无油螺杆真空泵的设计者和使用者的青睐本课题针对广泛应用于无油螺杆真空泵中的单