【摘 要】
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铁电存储器以其非挥发性(即使在电源突然断开的时候芯片仍能保存存储在其中的信息)、高写入速度、低功率消耗、低的操作电压、高重复读写能力以及优异的抗辐射等优越的性能,成为存储器领域最具发展潜力的产品。而铁电材料的选择是其实现商业化应用的关键。在铁电材料中,使用最多的是钙钛矿结构铁电如Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3(PZT)和铋层状结构铁电如SrBi_2Ta_2O_9(SBT),但是PZT材料,
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铁电存储器以其非挥发性(即使在电源突然断开的时候芯片仍能保存存储在其中的信息)、高写入速度、低功率消耗、低的操作电压、高重复读写能力以及优异的抗辐射等优越的性能,成为存储器领域最具发展潜力的产品。而铁电材料的选择是其实现商业化应用的关键。在铁电材料中,使用最多的是钙钛矿结构铁电如Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3(PZT)和铋层状结构铁电如SrBi_2Ta_2O_9(SBT),但是PZT材料,它含有有毒元素铅,对环境有污染,且抗疲劳性较差;SBT材料,虽然抗疲劳性好,但是制备温度过高,很难与大规
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