随着科学技术的发展，机械制造进入精密化、微型化阶段，尤其是电子、光学、生物技术等领域对微型化产品提出了越来越高的要求，小型化微型化成为发展的趋势。微细电火花加工技术作为微细制造领域重要的方法有其独特的优势，主要包括加工范围广、工具电极与工件没有宏观力的作用加工精度易于保证、可控性好等。微细电火花加工技术主要包括电火花线电极磨削技术(WEDG)以及电火花块反拷技术(BEDG)。线电极磨削具有加工精度高极限加工能力强、效率低的特点，块反拷具有加工精度低、效率高的特点，本文将研究一种多功能微细加工装置以实现块反拷与线电极磨削工艺结合。　　本文首先介绍了微细电极制作的方法以及各自的特点，阐述了在线制作电极的重要意义，详细介绍了国内外WEDG结构的研究现状。在此基础上本课题以实验室多功能微机床为基础设计了WEDG与BEDG复合加工系统，该系统包括块电极反拷模块、线电极磨削模块、微细孔加工模块及其冷却液循环模块。本文设计了线电极非悬空放电导轮，极大的提高了线电极的稳定性。对于线电极模块提出用磁滞制动器通过带摩擦给线电极提供张力的方法，减少线电极的转动惯量，提高线电极的稳定性。在模块设计过程中利用ANSYS软件对结构中主要零件进行了仿真，简化了设计流程。将其安装到多功能机床的三维微平台上以实现加工时的运动需求，该三维微平台具有A、B、C三移动轴，且各轴分辨率达到0.1μm。此外该多功能机床的主轴为镶嵌陶瓷片的V块主轴Z轴，使得主轴的同轴度有了可靠的保证。此外利用LabVIEW程序设计了块电极反拷、线电极磨削、电火花打孔的短路回退控制程序，经过实验验证了程序的可行性。　　其次，详细介绍了块反拷加工与线电极磨削加工的与原理及其优缺点，研究了复合微细电火花加工工艺。通过正交实验法研究了块电极反拷中各加工因素对工具电极去除率的影响，得到各因素对去除率重要性影响的先后顺序，此外，还研究了线电极磨削加工中各因素对工具电极去除率的影响，并对结果进行了深入的分析，为进一步提高线电极磨削加工效率提供了参考。　　最后，进行了微细小孔加工实验，研究了电火花打孔时的控制策略，提出了阈值电压控制法，并对比了恒速进给时工具电极损耗率，得出该策略的有效性。并考察了开路电压、放电频率、主轴转速、占空比对小孔加工去除率的影响，优化了小孔加工工艺。