压电式MEMS面内横向驱动器的研究

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基于微机电系统(MEMS)技术的面内横向微驱动器是一种能够在面内产生水平运动的微型驱动器,具有面内范围限制小、扩展性强、易于单片集成等优点。压电式MEMS面内横向运动驱动器具有输出力/位移大、响应速度快、工作频率高、控制精度好等优点,在高性能驱动器和传感器领域具有重要的应用价值。本课题设计一种压电式MEMS面内横向微驱动器,运用压电驱动机制理论,分析了横向压电驱动原理和驱动机制,研究了驱动器的运动学和动力学行为,建立了结构参数与MEMS横向驱动器性能之间的数学模型;结合有限元方法,验证了理论
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