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在微／精密机械制造领域,为保证零部件尺寸精度和装配精度达到较高水平,很多工况需要使用微位移机构对零部件进行平行度调整,尤其近年来,随着MEMS技术、生物芯片技术等的发展,调平技术在微／纳尺度器件和结构的研究中发挥着越来越重要的作用。为此,本文基于柔性铰链的变形特性设计了一种柔性压头被动调平机构,研制了配套的应用设备,并围绕机构的一系列调平技术展开研究。在对柔性压头调平机理分析的基础上,对柔性部位结构形状及尺寸进行优化分析。用ANSYS对柔性压头进行调平能力和动力学性能方面的有限元仿真,选取了