随着半导体制造工艺和大规模集成电路的飞速发展,片上网络分析仪成为毫米波及亚毫米波测量领域中的研究热点。而接收电路作为片上网络分析仪的重要组成部分,它的技术指标是衡量片上网络分析仪的性能的关键因素,滤波器作为一种频率选择电路,又是决定接收电路性能的重要条件。通过分析片上网络分析仪的系统组成,讨论了片上网络分析仪中接收电路部分的技术参数,同时根据对系统技术参数的分析提出了用于片上网络分析仪的集成混频电路中滤波器的技术指标。文中分析了基于TSMC 90nm CMOS工艺的共面波导传输线及其不连续性结构如:开路短截线,短路短截线,“T”型结和十字型结。通过对国内外大量共面波导滤波器文献的整理分析,研究了共面波导低通滤波器和带通滤波器的设计方法和流程。最后,根据现代网络综合法设计了用于片上网络分析仪集成混频电路的三级滤波器。第一级为共面波导低通滤波器,该滤波器在截止频率为302GHz的插入损耗小于2d B,在大于1.5倍截止频率的插入损耗大于20d B。从电磁耦合理论出发设计了第二级共面波导V波段窄带带通滤波器和第三级X波段带通滤波器,V波段窄带带通滤波器在中频频率为60GHz,带宽为4GHz内的插入损耗小于2.5d B;X波段带通滤波器在中频频率为10GHz,带宽为4GHz内的插入损耗小于1dB。