随着石油、天然气、煤炭等天然化工能源的不断耗尽，能源危机已经成为当今社会面临的最大问题，如何高效的开发清洁的可再生能源是全世界面临的技术瓶颈。惯性约束激光核聚变（ICF）可以利用海水中富含的氘和氚两种元素源源不断的提供可持续、清洁的能源。而点火装置作为ICF的核心结构，其靶丸微孔和靶室内的金质空腔靶材成了影响聚变稳定性发展的关键因素之一。因此研究神光Ⅲ靶材的微细加工技术对ICF的发展具有深远影响。本文通过对紫外激光和飞秒激光微细加工技术的总结，对靶材激光微细加工技术进行了仿真与试验研究。根据紫外激光的光热、光化学消融原理，对紫外激光加工聚苯乙烯靶球的消融方式进行确定，分析了聚苯乙烯对紫外激光的吸收机制；对紫外激光和飞秒激光去除金属材料的原理进行讨论。针对紫外激光对聚苯乙烯靶球微孔加工的去除机理和温度场分布，利用有限元软件进行了仿真研究；根据范德瓦尔方程对靶球底部加热，避免微孔加工过程中熔渣容易进入靶球内部；设计了加工靶球微孔的定位方式并进行了紫外激光加工聚苯乙烯靶球微孔试验研究，研究了激光的功率、重复频率、加工时间对微孔形貌的影响规律。搭建了飞秒激光试验系统。利用单因素试验法，利用飞秒激光和紫外激光对钽、铜、铝、钛等金属薄板进行划切试验，得到了划切微槽与激光参数的关系，对各个参数的影响规律进行了讨论，通过加工后微槽表面形貌的分析对比了紫外激光和飞秒激光的加工效果。