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硬质薄膜技术是刀具、工模具材料表面改性的重要手段。具有较高硬度和良好耐磨性能的氮化钽(TaN)薄膜是硬质薄膜材料的重要组成部分。然而,随着加工制造技术的发展,二元TaN薄膜已不能满足严苛的服役要求,为此,本文利用磁控溅射技术,通过添加W、C及Mg等元素以提升TaN薄膜的力学及摩擦磨损性能,主要研究结果如下:(1)TaWN薄膜:当W含量小于22.8 at.%时,薄膜两相共存,为fcc-(Ta,W)N+hcp-(Ta,W)N;随着薄膜中W含量的进一步升高,薄膜中出现了W_2N相和W相,此时薄膜四相共存,